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    产品名称：XYZ直线电机滑台
    产品概要：
    -- 直线轴XYZ纳米级定位精度；
    -- 精密交叉滚柱导轨。
    -- 主体铝合金材质
    产品精度：
    -- XY轴重复精度±100nm
    -- Z轴重复精度±200nm
    产品名称：XYθ平台
    产品概要：
    -- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台；
    -- 小行程精密运动场合；
    产品精度：
    -- XY轴重复精度±0.5μm
    -- θ旋转轴精度±2.5arcsec
    产品名称：耦合平台
    产品概要：
    -- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台；
    -- 适用光纤耦合；
    产品精度：
    -- XYZ轴重复精度0.3μm
    -- ABC旋转轴重复精度±1.5arc sec
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